湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),*制造辉光离子渗氮炉的高新技术企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
将两个面积不相等的电*置于射频(例如13.56MHZ)辉光放电离子体中形成非对称放电,面积小的那个电容耦合阴*有可能形成并建立阴*靶表面的负偏压,并能产生溅射。?电容耦合型射频(RF)放电电*自给偏压的形成,可以防止绝缘层表面正电荷的积累,有助于射频放电的维持。阴*靶表面的“自生负偏压”的数值可以近似等于射频溅射电压的幅值,*1高时可达千伏量级。
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操作比气体渗氮复杂,氮化炉,需要控制的厂艺参数多,测量温度和控制温度均匀比较难;装炉有严格要求,装炉不妥或形状不同、大小不同的零件混装炉容易出现渗层不均匀等疵病,造成废品或返修;设备费刚贵,有时需要配置辅助阳*等。
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低压气体放电的一种类型,在发射光谱分析中用作气体分析和难激发元素分析的激发光源。在玻璃管两端各接一平板电*,充入惰性气体,加数百伏直流电压,管内便产生辉光放电,其电流为10-4~10-2A。放电形式与气体性质、压力、放电管尺寸、电*材料、形状和距离有关。