烘箱选型依据及理由 因为烘箱用在光刻工艺, 所以对其的洁净度要求比较高, 同时用于膜的固化 等工艺,大型工业烘箱 , 保持片内的均匀性、 温控系统也是要求较高。 烘箱的生产厂家国内和国 外都比较多, 用途也是多元化的, 从价格角度考虑,烘箱, 则把国内生产的烘箱放在*因为不论是售后服务还是备件购买都会相对容易一些, 价格很低很多。 但光 刻工艺中要求严格控制烘箱产生的颗粒度。
烘箱的*
1.烘箱应安放在室内干燥和水平处,防止振动和腐蚀。
2.要注意安全用电,塑料烘箱,根据琴益烘箱耗电功率安装足够容量的电源闸刀。选用足够的电源导线,并应有良好的接地线。
3.带有电接点水1银温度计式温控器的烘箱应将电接点温度计的两根导线分别接至箱顶的两个接线柱上。另将一支普通水1银温度计插入排气阀中,(排气阀中的温度计是用来校对电接点水1银温度计和观察箱内实际温度用的)打开排气阀的孔。调节电接点水1银温度计至所需温度后紧固钢帽上的螺丝,以达到恒温的目的。但必须注意调节时切勿将指示铁旋至刻度尺外。
烘箱内胆规格(高×宽×深)为1500*1000*1000mm,固化烘箱 ,外部尺寸约高2220*宽1450*深1290mm(含凸出部分)。内胆及其风道系统由不锈钢加工制成,同时采用不锈钢管状电加热器。水平运风循环,温度均匀,工作*。工作温度为250℃。采用数字PID自动恒温仪表,操作方便。适用于各行业的烘干,干燥,保温,固化,烘焙,试验及其他热处理等用途。本箱的外壳由冷轧钢板成,外表面涂装浅灰色漆。外壳与内胆之间用保温岩棉充填,形成可靠的隔热层。加热器位于工作室顶部。