9,去胶:湿法去胶,用溶剂、用NONG*。负胶,98%H2SO4 H2O2 胶=CO CO2 H2O,正胶:BIN酮,干法去胶(ash)氧气加热去胶O2 胶=CO CO2 H2O,等离子去胶Oxygenpla*a ashing,高频电场O2---电离O- O , O 活性基与胶反应CO2,CO, H2O,光刻胶 NR7-6000P??, 光刻检验
光刻胶市场
据统计资料显示,2017年中国光刻胶行业产量达到7.56万吨,光刻胶,较2016年增加0.29万吨,其中,中国本土光刻胶产量为4.41万吨,与7.99万吨的需求量差异较大,说明我国供给能力还需提升。
国内企业的光刻胶产品目前还主要用于PCB领域,代表企业有晶瑞股份、科华微电子。
在半导体应用领域,随着汽车电子、物联网等发展,会在一定程度上增加对G线、I线的需求,利好G线、I线等生产企业。预计G线正胶今后将占据50%以上市场份额,I线正胶将占据40%左右的市场份额,DUV等其他光刻胶约占10%市场份额,给予北京科华、苏州瑞红等国内公司及美国futurrex的光刻胶较大市场机会。
4,*
前烘好的存底放在光刻胶衬底放在光刻机上,经与光刻版对准后,光刻胶 MC3-1200,进行*,接受光照的光刻胶发生化学变化,形成潜影,
光源与光刻胶相匹配,也就是光源波长在光刻胶的敏感波段;
对准:指光刻板上与衬底的对版标记应准确对准,这样一套光刻版各版之间的图形才能彼此套准。
*时间,光刻胶 NR2-5000P,由光源强度,光刻胶种类,厚度等决定,
另外,为降低驻波效应影响,可在*后需进行烘焙,称为光后烘焙(PEB)