合肥迈思瑞仪器公司 (图)-激光干涉仪报价-芜湖激光干涉仪

激光干涉仪调光步骤及技巧

线性测量光路校准步骤：先近后远，近调上下左右，远调俯仰扭摆。

1、微调俯仰、扭摆，使两束反射光线完全重合。

2、通过升降三角架和调节激光头的左右位置，激光干涉仪精度，使重合后的反射光束射入回光孔。

3、查看五个光强指示灯是否全亮，若无，请重复步骤2~5，直至近、远两端位置，五个光强指示灯全亮。

4、安放补偿元件，芜湖激光干涉仪，进行线性测量。

激光干涉仪性能特点

　　1.测量精度高、速度快，激光干涉仪品牌，稳定性好

　　①使用美国*氦nai激光器，结合伺服稳频控制系统，达到*稳频(0.05ppm)

　　②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

　　③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

　　④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

　　⑤分离式干涉镜设计，激光干涉仪报价，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

激光干涉仪组件

　　要测量线性轴的*精度、重复*精度和反向间隙等数据，需要使用激光测量系统的以下组件，主要有：XL 激光头、三脚架和云台、XC 环境补偿单元、空气温度传感器和材料温度传感器、线性测量光学镜组、光学镜安装组件及安装激光测量软件的计算机。

激光干涉仪影响因素

环境因素的影响

1.影响因素

　　下面所列任何一种环境参数的变化都会导致大约1μm的误差:

(1)空气温度:1℃

(2)空气压力:0.3kPa

(3)相对湿度:30%

　　特别是振动对测量的影响是非常大的，振动可能导致测量数据的分散，明显影响重复性的测量。甚至可能使测量无法正常进行下去。

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