激光干涉仪可以一机两用(干涉仪和自准直仪),同时一次安装可以测量(*精度、xx及yy方向的直线度、俯仰角、偏摆角及滚动角)5-6个参数。API激光干涉仪在不影响仪器使用精度和功能的情况下,对传统激光干涉仪繁琐的光路调整与复杂众多的附件进行了改变。先后开发了LMS和XD型激光干涉仪,该仪器的结构紧凑,光路调整方便(可直接安装在机床工作台或导轨上),仪器体积小、重量轻、更便携。尤其是XD型干涉仪,它改变了LMS型数字传送线的困扰,全程测量实现无线通讯功能。采用干涉镜和控制箱与激光头集成一体的设计理念,设计时充分考虑了系统稳定性,具有同类仪器所无法比拟的****性、高便携性及多功能的特点。
激光干涉仪:有哪些应用?
1、 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,满足机床误差修正的要求。
2、具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性*精度、重复*精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并可以校准机床的回转轴。
3、内置国内外通用的标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。
4、具有动态测量及测量振幅和频率分析的功能,可进行机床振动测量与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等。
激光干涉仪调光步骤及技巧
垂直度测量
光学组件:光学直角尺一只、垂直转向镜一只、直线度干涉镜一只、直线度反射镜一只、回射反射镜一只。
测量原理:沿着两条标称相互垂直的轴,利用一个共同的基准,品牌激光干涉仪,分别进行直线度测量,从而测量其垂直度。通常,这个共同的基准就是直线度反射镜的光学准线,在两次直线度测量期间,即不能移动(相对于工作台),也不能调整反射镜。这两次直线度测量,至少有一次是利用光学直角尺完成的。