激光干涉仪调光步骤及技巧
光学器件安装:
1、水平轴测量光学器件的安装布局。(干涉镜或者反射镜移动,反射镜作移动光学元件的测量范围是40m,干涉镜作移动光学元件的测量范围是15m。)
2、垂直轴测量光学器件的安装布局。(反射镜移动)
线性测量光路校准步骤:先近后远,近调上下左右,远调俯仰扭摆。
架设好激光头后,先将激光头的左右、俯仰、扭摆居中,再将激光头调至水平,在激光头上安装好标准光闸。
激光干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统丈量位移的通用长度丈量工具,是校准数控机床、坐标测量机、测长机、电动滑台、线性模组及其它*装置精度及线性指标****常用的标准仪器。一句话概括就是激光干涉仪是用来检测设备运动精度的仪器。
激光平面干涉仪
激光平面干涉仪运用移相干涉原理提供*的平面面形、球面面形曲率半径样品表面质量传输波前的测量和分析,其主要用于平面和球面的面形检测 ;平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差 ;光学材料均匀性测量 ;角锥角度和面形偏差测量 ,在光学玻璃元件(包括玻璃、金属、陶瓷等)应用****为广泛。
精密型激光干涉仪优势:
激光干涉仪,一次设能够同时测量数控直线轴的多个误差参数(单轴*多6个误差参数),****大地减少可机床的停产时间,****了实际测量精度(测量该轴的各误差参数时,无时间差)操作使用容易,大口径激光干涉仪供应商,传统干涉仪需要数天时间才能完成的测试,API XD 机关干涉仪只需要2到3个小时,XD-5/6D激光干涉仪节省机床停产时间达80%以上。多参数同步测量所揭示的机床真是误差状况是传统干涉仪所无法做到的。