激光干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。它是一种在测量期间与环境条件的变化有关系的误差。它是由于当围绕激光束的大气压力发生变化(引起激光波长变化)时以及当固定有激光干涉仪和目标反射镜的材料温度发生变化(引起干涉仪和反射镜之间的距离变化)时,激光束行程长度得不到补偿而造成。
激光干涉仪:误差影响精1确度
1、大气折射率
2、激光频率稳定性:在激光干涉仪中,将激光波长作为长度基准,激光频率变化直接影响测量结果。
3、余弦误差:在测定三坐标测量机的*误差时,需仔细调整,使光束与滑座的运动方向平等。
4、死程误差:在零位时,激光干涉仪两相干光的还有一段光程差,这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差,死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。
5、细分误差:在干涉条纹一个周期内由插细分不均匀引起的误差。
6、脉冲当量误差:激光干涉仪显示的****1小一个数所对应的量值称为脉冲当量。
7、阿贝误差:为避免阿贝误差,需将角隅棱镜的顶点调整到所测的直线上,双频激光干涉仪,否则由于滑座的角运动误差引起阿贝误差。
激光干涉仪:有哪些应用?
1、 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,满足机床误差修正的要求。
2、具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性*精度、重复*精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并可以校准机床的回转轴。
3、内置国内外通用的标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。
4、具有动态测量及测量振幅和频率分析的功能,可进行机床振动测量与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等。