激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。激光干涉仪是20世纪60年代末期问世的一种新型的测量设备,由美国HP公司研制成功并于1970年投入市场,随即受到了相关行业特别是机床制造业的重视,其主要在:线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。随着激光干涉仪测量技术的不断****,测量软件的不断开发其测量范围越来越广泛,特别是在测量数控机床位置精度方面用途为广泛。
激光干涉仪
当高压连接在阳****和阴****之间时,混合气体被激发,形成激光光束,双频激光干涉仪供应商,通过放大激光光强使一些光透射出来成为输出激光光束。其中,为实现平衡状态,通过加热器控制激光管长度让激光稳频的精度保持在±0.05ppm以内,此时稳定输出后,激光器即可进行干涉测量。如今大多数现代位移干涉仪都使用氦HeNe激光管,这些激光管具有633纳米的波长输出。
激光器的频率、功率、稳定性、可靠性、光束质量及寿命等指标参数,都关系着激光干涉仪的****终性能。其中激光频率是激光干涉仪****基本的参数,其频率(波长)的准确性和稳定性是激光干涉仪测量精度的保证。
*激光干涉测量仪的主机为Fizeau型干涉仪,具有光学器件少,精度高,易于使用等特点。光源为低功率氨nai激光,光束扩展为1英寸(25mm)至 3GPI系列激光干涉测量仪,运用移相干涉原理,提供*的平面面形,球面面形,曲率半径,样品表面质量,传输波前的测量和分析。
可应用于:平面和球面的面形检测、平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差、光学材料均匀性测量、角锥角度和面形偏差测量、精密盘片质量检验、三平板绝1对测量、双球面绝1对测量、静态干涉条纹判断、泽尼克多项式分析、球面曲率半径测量。