激光干涉仪减少及消除的方法
(1)测量尽量在恒温车间进行,以保持环境温度的相对稳定。
(2)在环境参数偏离标准条件时,可使用EC10环境补偿单元对温度、压力、湿度进行自动补偿,可使上述(温度、压力、湿度)误差减少到±1.1μm。
(3)尽量关掉车间的照明灯和机床上的工作灯,以减少热源。
(4)在夏季,为了减少激光器的发热,可用电风扇对其进行散热和降温,以延长激光器的使用时间。
(5)在测量时,应尽量避免车间各种振动的产生,如机床、行车等。在必要时,可在下班或晚上比较安静的环境下测量。同时,应将反射镜和干涉镜分别安装在刀具/中滑板位置和床身位置上,激光干涉仪哪个品牌好,激光器安装在尽量靠近机床的位置,使用尽可能短的加长安装附件来固定光学元件,以减少机床振动产生的影响。
激光干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,****初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的,激光干涉仪哪个品牌好,它适宜在车间中使用。激光干涉仪在****接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2 含量0.03%)下的测量精1确度很高,激光干涉仪哪个品牌好,可达1×10。
激光干涉仪的开发,给机床工业提供了*的标准,适用于各种型号和规格的机床。
使用激光干涉仪测量,滁州激光干涉仪,必须要考虑到的误差源:
一、 环境误差。激光干涉仪的绝1对精度取决于周围条件的精1确程度(或者说环境的稳定程度)。环境温度每产生1℃的变化,绝1对压力每产生2.5mmHg或相对湿度每产生30%的误差时,都将会导致约1PPM(百万分子一)的测量误差。这些误差利用人工补偿或激光干涉仪所配的自动补偿装置可部分克服。因此检测期间保持这些条件的稳定非常重要。
二、 机床表面温度。即机床本身温度变化的影响。对于用钢制丝杠*滑鞍的机床,丝杠理论热膨胀系数为10.8PPM/℃,即温度每升高1℃,他将膨胀近10.8微米/米。