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集成电路工艺过程中发生的酸性气体，经过酸排气配管至入口的静压箱，经过洗刷塔至排放口的静压箱，除去了酸性物质后，VOC废气处理厂在哪里，经处理过的气体经过排气风机排放到大气中。洗刷塔有循环泵、循环水流量计、pH计、液位计等监控体系，用作为中和的*，经过测定循环水的pH值来操控的注入泵开关。

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生物处理法运转费用低，二次污染小，但处理条件严、继续时间长，占地面积大，故实践应用较少。燃烧法是使用高温燃烧进程将有机废气转换成CO2与H2O，依据废气的燃烧温度可分为750摄氏度-850摄氏度的燃烧化与350摄氏度～450摄氏度触媒焚化二类，VOC废气处理工厂，因触媒式易形成触媒毒化，故很少选用这种办法。吸附法是使用高孔隙率、高表面积的吸附剂，将废气中的有机气体分子别离，而净化有机废气。适用于集成电路工业的有机废气处理办法有吸附法和燃烧法。

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有机废气处理系统由高温转轮设备和活性炭吸附设备构成。有机废气经过预过滤器，除掉尘埃颗粒，保护下流的设备；经过原气体冷凝器，除掉高沸点有机物MEA，保护高温转轮设备内的吸附剂；经过加热器，加热冷凝后的有机废气至30。C左右，这样能够进步有机物吸附率；接着经过G—AC过滤器，再次过滤去除高沸点有机物。废气送风机将有机废气送人高温转轮设备进行吸附。