微电子车间净化-合肥车间净化-无锡谷能净化科技

人净区内各功能房间应顺人净路线为：非洁净走廊、换鞋、一次更衣室、二次更衣室、缓冲间、洁净内走廊。

洁净室内走廊与非洁净区至少维持30Pa正压压差。

这种压差建立基本原理是送风量大于回风量、排风量、渗漏风量来维持正压。通过洁净室的送入风量与排风量 压差风量(余风量)之间达到平衡便建立压差。

对全新风空气系统：新风量=排风量 压差风量

对循环空气系统：新风量 回风量=回风量 排风量 压差风量

归根到底洁净室压差，合肥车间净化，即新风量=排风量 压差风量，它们之间平衡关系建立。

总之，设计、施工和调试是保证净化系统正常运行的三个重要环节，通过调试我们可以对系统运行中出现的问题有所了解，从而可以完善设计方案，规范施工操作，车间净化价格，避免以上问题的出现。调试工作是保证洁净室室内压差和洁净度是否达标的重要和必要环节。系统正常运行则属于正常的使用生产环节。

净化工程墙面标准

1.检测的五项平均值小于3倍，或其中ben系物三项都小于3倍时，使用墙面产品MA。

2.检测的五项平均值大于3倍且不超过5倍，或ben系物三项中的任意一项大于3倍且不超过5倍时，使用墙面产品YA。

3.检测的五项平均值大于5倍，或ben系物其中的任意一项大于5倍，微电子车间净化，或装修墙面使用的是壁纸环境时，使用墙面产品YAB。

洁净空间的减少，意味着风量比、换气次数、送风动力消耗都随之降低。洁净室每平方米耗能是普通空调办公楼的10~30倍。若减少洁净体积30％，可节能 25％。又由于1万级洁净区电耗是10万级的2.5倍，因此，企业应按不同的空气洁净度等级要求分别集中布置，尽****1大努力减少洁净室特别是高1级别洁净室的 面积，同时，应使洁净度要求高的洁净室尽量靠近空调机房，以减少管线长度，降低能量损耗。　 　减少洁净空间体积的实用技术之一是建立洁净隧道或隧道式洁净室，其可以满足生产对高洁净度环境和节能的双重要求，使洁净工艺区空间缩小到****1低限度，车间净化施工，风量 大大减少。另外，还可采用洁净隧道层流罩装置，以抵*洁净度低的操作区对洁净度高的工艺区可能存在的干扰与污染。在同样的总风量下，可以扩大罩前洁净截面 积5~6倍。同时，还可通过洁净小室、洁净工作台、自净器、微环境等形式，如带层流装置的称量工作台以及带层流装置的灌封机等，实行局部气流保护，以维持该区域的高洁净级别要求，且减少洁净空间体积。