激光干涉仪品牌_合肥迈思瑞(在线咨询)_芜湖激光干涉仪

双频激光干涉仪在数控车床检定中的应用

与传统的检定方法相比，激光干涉仪具有较高的精度和效率，激光干涉仪品牌，并能及时处理数据，为机床误差修正提供依据。因此，用双频激光干涉仪检测机床各项误差是一种用传统测量手段难以实现的的技术。位置精度是机床的重要指标，激光干涉仪品牌，目前*机床检定标准中都推荐使用激光干涉仪进行该项精度的检定。用双频激光干涉仪检*置精度使用长度干涉仪和测量反射镜，测量时将长度干涉仪置于不动位置，反射器安装在运动部件上(也可相反) 。

如何正确运用激光干涉仪****数控深孔钻机床*精度？

偏移

偏移是指去程和回程两次测试之间具有不变的垂直偏移。产生偏移曲线的可能原因主要是深孔钻机床方面的问题，如反向间隙未补偿或不当补偿、车架与导轨之间存在间隙(松动)等。

针对以上问题可采取以下解决措施：丝杠/滚珠丝杆驱动装置；检查球状螺母或丝杠是否磨损；检查丝杠轴承的端部浮动情况；使用角度光学镜组检查轴线反转时的车架角度间隙；检查控制器内设置的反向间隙补偿是否正确；机架和小齿驱动装置；检查牙是否正确啮合；检查齿轮箱是否磨损和线性编码器系统的状况。

双频激光干涉仪在形位误差测量上的应用

（1）双频激光干涉测角

双频激光干涉仪光路系统中的偏振分光镜、参考镜和测量镜，分别换成双膜块组合角锥反射棱镜和角锥反射棱镜，就可以构成双频激光干涉测角仪。其测量原理为：当具有偏振方向垂直，且频率分别为f1和f2的偏振光入射到偏振分光镜后，其中垂直偏振光f2被反射，经棱镜再反射到达角锥反射棱镜，由角锥反射棱镜反射后回到偏振分光棱镜，而水平偏振光f1透过偏振分光镜后到达角锥反射棱镜，芜湖激光干涉仪，由角锥反射棱镜反射后回到分光镜，两光束在偏振分光棱镜重新会合形成拍频，经检偏器后由光电接1收器接收。当双角锥棱镜组在移动过程中没有发生摆动时，两束光的*频差不变，拍频不变。如果，移动过程中双角锥棱镜组发生摆动，则相当于两个角锥棱镜的移动不一致，出现距离差。根据线度角度的几何关系，可以测出摆角的大小。由上述原理构成的SJD型双频激光干涉仪用于测量角度时，激光干涉仪品牌，其分度值为0.1″，当测量范围为±100″时，测量精度为0.5″

(2) 双频激光干涉仪测直线度误差

双频激光干涉仪与光学附件双面反射镜、沃拉斯顿棱镜等配合，可以构成直线度测量系统，由于此法已经在工程测量中广泛应用，且原理与测角系统基本类似。

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