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真空泵碳片

化学气相反应法(CVR)

原料为焦炭粉和过量的石英砂或无定形硅粉，当加热到2000℃时发生化学反应，生成SiO蒸气。SiO蒸气和碳基体反应生成SiC。SiC层和碳基体二者无明显界面，结合很牢固，在温度骤变及高负荷情况下不会脱落，但CVR法是SiO气体渗入碳基体内进行反应，因此，仍然保留了碳基体的多孔性，在用作密封材料时，需用树脂浸渍或CVD法进行孔隙的填充。

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无油旋片式真空泵内部结构中的叶片材料为石墨碳片材料，也就是所说的碳精片。真空泵碳精片的操作不当可能会出现如下故障。对于故障的维修检测，和故障的杜绝做出以下分析。在故障排查过程中，按照下文所示，基本上均能找到原因。但是，在日常维护、*过程中，一定要注意，避免故障的发生，造成不必要的浪费和损失。