上照式测厚仪生产

性能优势：

下照式设计：可以快速方便地*对焦样品。

无损变焦检测:可对各种异形凹槽进行无损检测，凹槽深度范围0-90mm。

微聚焦射线装置：可检测面积小于0.002mm2的样品，可测试各微小的部件。

****率的*：即使测试0.01mm2以下的样品，几秒钟也能达到稳定性。

精密微型滑轨：快速*****样品。

EFP****算法软件：多层多元素，甚至有同种元素在不同层也难不倒EFP算法软件。



仪器规格：

外形尺寸 ：550 mm x 480mm x 470 mm （长x宽x高）

样品仓尺寸 ：500mm×360 mm ×215mm （长x宽x高）

仪器重量 ：55kg

供电电源 ：交流220±5V

功率 ：330W

环境温度：15℃-30℃

环境相对湿度：<70%



技术参数：

项 目

参 数
测量元素范围

Cl（17）-U（92）
涂镀层分析范围

各种元素及有机物
分析软件

EFP，可同时分析23层镀层，24种元素，不同层有相同元素也可分析
软件操作

人性化封闭软件，自动提示校正和步骤，避免操作错误
X射线装置

W靶微聚焦加强型射线管
准直器

φ 0.05 mm ；φ 0.1 mm；φ 0.2 mm；φ 0.5 mm；四准直器自动切换
近测距光斑扩散度

10%
测量距离

具有距离补偿功能，可改变测量距离，能测量凹凸异型样品，变焦距离0-30mm(特殊要求可以升级到90mm)
样品观察

1/2.5彩色CCD，变焦功能
对焦方式

高敏感镜头，手动对焦
放大倍数

光学38-46X，数字放大40-200倍
样品台尺寸

500mm*360mm
移动方式

高精密XY手动滑轨
可移动范围

50mm*50mm
随机标准片

十二元素片、Ni/Fe 5um、Au/Ni/Cu 0.1um/2um
其它附件

联想电脑一套、喷墨打印机、附件箱

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