浙江游星电子科技公司(图)|游星轮供应|西藏游星轮

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游星轮厂家与您分享在平面研磨抛光加工的精度控制中引进零位测量系统

其实，人们也很少将主动测量系统与平面研磨抛光加工联系到一起。****率的双端面研磨机，在磨削加工过程中需要上下两个大研磨盘转动并且加工工件在游星轮的带动下转动，研磨盘的直径在600-1000mm直径，加工工件一般是多件，所以很难实现主动测量的功能。

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随着半导体材料技术的发展，游星轮供应，对硅片的规格和质量也提出更高的要求，适合微细加工的大直径硅片在市场的需求比例将日益加大。目前，硅片主流i产品是200mm，逐渐向300mm过渡，研制水平达到400mm～450mm。据统计，200mm硅片的全球用量占60%左右，150mm占20%左右，其余占20%左右。

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单面研磨的加工工艺复杂、加工效率低下，在转运换面研磨过程中，由于移位误差的存在导致研磨两面后表面的厚度差异大，生产的不良率高，游星轮供应，甚至在加工时蓝宝石片在转运过程中容易从陶瓷盘上面掉下来，导致蓝宝石片报废。

以4寸的蓝宝石片面板研磨为例，单面研磨一次只能生产24片，而且完成研磨工序需要两面加工2次(A、B面各I次)，通常表面5点的厚度差异在0.015-0.020mm，离工艺要求的5点厚度差异(0.003-0.005mm之间)要求很大。

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