激光干涉仪阿贝偏置误差的影响
1.影响因素
若激光光束调整得与指1定的坐标轴为平行偏置时,在这种情况下进行测量,激光干涉仪品牌有哪些,光学元件偏置安装引起的角度运动会导致阿贝偏置测量误差。该误差与LΦ成正比,其中,L为偏置距离,Φ为偏置角度。如Φ为0.0028°、L为100mm,激光干涉仪品牌报价,所引起的阿贝偏置误差为5μm。
2.减少及消除的方法
由于恒定角度不会导致阿贝误差,激光干涉仪品牌价格,所以,在测量时应固紧好移动光学镜以减少偏置角度的变化;尽量使测量轴线靠近机器光栅尺轴线以减少偏置位置距离。
激光干涉仪功能特点:
精度高:以激光干涉技术为核心,激光干涉仪,分辨力可达纳米级;采用*环境补偿模块,解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统,保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热变形,保证干涉光路稳定。
标准多:内置国内外通用的标准,含*(GB)、ISO(国际)、BS(英制)、美标、DIN(德标)、JIS(日标)共13份。可依据各种不同的机床标准分析处理数据,并可打印相应的曲线图和数据报告。