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激光干涉仪机器表面温度的影响之减少及消除的方法

在定“零点”时，*激光干涉仪定制，若固定光学镜和移动光学镜是并排放置的，则死程误差可以忽略不计。

在移动光学镜位于坐标轴零点位置时，两个光学元件彼此间距离为****1大的这种机器上，可按下述方法进行预置，以避免激光干涉仪以该点定零点时引起的潜在的死程误差:

①把移动光学镜放在坐标轴零点位置上；

②激光干涉仪定零点；

③把移动光学镜运动到坐标轴另一端(使两个光学镜尽量接近)，滁州激光干涉仪，注意要保持读数的符号与光栅尺的符号一致；

④当两个光学元件放在****接近的位置时，设置一个与激光干涉仪读数相等的预选值；

⑤在这个相同位置上重新设置零点，其值为预选值。

双频激光干涉仪原理

双频激光干涉仪的原理是建立在塞曼效应、牵引效应和*效应的基础之上的。其原理如图2所示，在全内腔He-Ne激光器上加约0.03T的轴向磁场，由于塞曼效应和牵引效应，发出一束含有两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光，它们的频率差大约是1.5MHz左右。这束光经1/4波片之后成为两个互相垂直的线偏振光，双频激光干涉仪代理商，再经平行光管准直和扩束。从平行光管出来的这束光经过析光镜反射出一小部分作为参考光束通过45°放置的检偏器。并由马吕斯定律可知，两个垂直方向的线偏振光在45°方向上投影，形成新的线偏振光并产生拍频。这个拍频频率恰好等于激光器所发出的两个光频的差值即（f1-f2），约为1.5MHz。经光电元件接受进入前置放大器和计算机。另一部分透过析光镜沿院方向射向偏振分光棱镜。互相垂直的线偏振光f1和f2被分开。f2射向参考立体直角锥棱镜后返回，f1透过偏振分光棱镜到立体直角锥棱镜——测量棱镜，这时如果它以速度v运动，双频激光干涉仪经销商，那么f1的返回光便有了变化成为（f1±Δf）。这束光返回后重新通过偏振分光棱镜并与f2的返回光会合，然后到45°放置的检偏器上产生拍频被光电元件接收，进入前置放大器和计算机。计算机对两路信号进行比较，计算它们之间的差值±Δf（即*频差）。进而可以根据立体直角棱镜移动度数和时间求得被测长度。

双频激光干涉仪中，双频起到了调频的作用，被测信号只是叠加在这一调频副载波上，这副载波与被测信号一起均被接收并转换成电信号。