溅射对靶材有哪些性能要求
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
1.靶材短路后靶材成了负载,瞬间就会产生巨大的热量。由于纯铝的熔点很低,金属靶材,只有660摄氏度,不但在外力的作用下靶材变形,局部还会达到熔点,形成溶洞;2。即便靶材不短路,如果冷却系统出现问题铝靶材也容易变形;3.磁控溅射镀膜电源保护性的功能差,超载后不能及时自动停止工作。
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PVD制程所用的靶材需要检验哪些项目
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1.靶材的纯度,可以用化学分析法、光谱能量测定法等方法检验;
2.晶粒度:要求晶粒越细小越好。而且晶粒要尽可能均匀一致。可以用光学显微镜检验;
3.密度:原则上,靶材的密度越高越好。密度越高,晶粒间隙越小,压制紧密,靶材质量越好。可以用称量法检验;
4.*均匀性:对于两种成份以上的合成靶,特别是相互难融的成分,还可以做金相检验,看成分、*是否均匀一致;
5.机械性能:有些靶材,金属靶材哪里有,如有色金属等可以要求一下。石墨靶,哪里卖金属靶材,好一点的,也有该要求。检验用专门的机械性能试验机。
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溅射靶材
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年,金属靶材多少钱, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
铝靶材用途:
适用于直流二****溅射、三****溅射、四级溅射、射频溅射、对向靶溅射、离子束溅射、磁控溅射等,可镀制反光膜、导电膜、半导体薄膜、电容器薄膜、装饰膜、保护膜、集成电路、显示器等,相对其它靶材,铝靶材的价格较低,所以铝靶材是在能满足膜层的功能前提下的优选靶材料。
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