芝浦旧徳田制作所高真空油扩散泵ESV系列

高真空油拡散ポンプESVシリーズは、2～62インチまでのラインナップをそろえており、真空*処理炉、真空蒸着、*子ビーム溶接、スパッタ装置等の排気系に用いられ高真空領域から超高真空領域まで幅広い真空プロセスに用いられております。本ポンプを選定される際には、適切な補助ポンプ、使用圧力範囲等の条件が合いませんと100%能力を発揮できません。本頁性能一覧表を参考に適切なポンプをお選び下さい。
本シリーズは、超高真空領域から高、中真空領域まで安定した圧力を得るために、ESV-6以下は環状ヒーター、ESV-8以上は内燃式シーズヒーターを採用し、超高真空下の油の突沸による圧力揺動を防いでいます。
ESVシリーズは油を加*するための*効率を良くしてあるため(当社比)作動時間が速く、排気量及び臨界背圧が大きいのが特長です。又、動作油量も少なくてすみます。

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