溅射靶材
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
靶*的物理解释
一般情况下,金属化合物的二次电子发射系数比金属的高,靶*后,靶材表面都是金属化合物,在受到离子轰击之后,金属靶材,释放的二次电子数量增加,****了空间的导通能力,降低了等离子体阻*,导致溅射电压降低。从而降低了溅射速率。一般情况下磁控溅射的溅射电压在400v-600v之间,当发生靶*时,溅射电压会显著降低。
科技部发布新材料技术超高纯铝靶材项目申请
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
科技部发布新材料技能超高纯铝靶材项目请求
据科技部音讯:物理汽相堆积(PVD)是半导体芯片和TFT-LCD生产进程中****关键的技能之一,PVD用溅射金属靶材是半导体芯片生产及TFT-LCD制备加工进程中****重要的原材料之一,溅射金属靶材中用量很大的是超高纯铝和超高纯洁铝合金靶材。
由此可见,金属靶材厂,研制具有自主知识产权的大尺度超高纯铝靶材的制造关键技能,开宣布满意半导体职业及TFT-LCD工业需要的超高纯铝靶材商品,关于中国有关工业的展开具有重要意义。
为公平、公平、公开地挑选项目承担单位,充分调动有关企业、科研院所及高等院校的积****性,集成全国在铝的精炼提纯、大尺度铝板形变加工及溅射金属靶材****制备等范畴的优势研制力量展开本项意图作业,科技部发布了《*高技能研讨展开方案(863方案)新材料技能范畴“大尺度超高纯铝靶材的制造技能”*项目请求指南》。
石久高研专注15年提供高纯金属靶材 *、高纯靶材欢迎来电咨询~~~
PVD制程所用的靶材需要检验哪些项目
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
1.靶材的纯度,可以用化学分析法、光谱能量测定法等方法检验;
2.晶粒度:要求晶粒越细小越好。而且晶粒要尽可能均匀一致。可以用光学显微镜检验;
3.密度:原则上,金属靶材哪家好,靶材的密度越高越好。密度越高,晶粒间隙越小,压制紧密,靶材质量越好。可以用称量法检验;
4.*均匀性:对于两种成份以上的合成靶,特别是相互难融的成分,还可以做金相检验,金属靶材报价,看成分、*是否均匀一致;
5.机械性能:有些靶材,如有色金属等可以要求一下。石墨靶,好一点的,也有该要求。检验用专门的机械性能试验机。
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