洁净室压差波动干扰因素的控制方法
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洁净室压差波动干扰因素的控制方法
(1)在回风口装空气阻尼层;
(2)排风管装电动密闭阀中效过滤器;
(3)余压阀,一般设在洁净室下风侧墙壁,采取此种措施时要求室内须有足够的剩余风量;
(4)调节回风阀或排风阀;
(5)调节新风阀;
(6)风机、风阀联锁控制;
(7)定期更换一些必要的过滤器。
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现代洁净室内洁净度等级
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如何保证现代洁净室内洁净度等级满足生产工艺要求
人净区内各功能房间应顺人净路线为:非洁净走廊、换鞋、一次更衣室、二次更衣室、缓冲间、洁净内走廊。 洁净室内走廊与非洁净区至少维持30Pa正压压差。 这种压差建立基本原理是送风量大于回风量、排风量、渗漏风量来维持正压。通过洁净室的送入风量与排风量 压差风量(余风量)之间达到平衡便建立压差。 对全新风空气系统:新风量=排风量 压差风量 对循环空气系统:新风量 回风量=回风量 排风量 压差风量 归根到底洁净室压差,即新风量=排风量 压差风量,它们之间平衡关系建立。 总之,设计、施工和调试是保证净化系统正常运行的三个重要环节,通过调试我们可以对系统运行中出现的问题有所了解,从而可以完善设计方案,规范施工操作,避免以上问题的出现。调试工作是保证洁净室室内压差和洁净度是否达标的重要和必要环节。系统正常运行则属于正常的使用生产环节。
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