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无尘室****微粒子污染的基本原则

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无尘室****微粒子污染的基本原则

无尘室内的浮游微粒子浓度，使用*的过滤器即可容易达到零水平，实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，百级实验室洁净工程，在制造品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。 无尘室内该如何****微粒子污染呢？应遵守下列四项基本原则： 一、不携入 在无尘室内不携入微粒子的方法有： 1）作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理； 2）进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。 3）通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。 4）机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室*后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。 5）无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。

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温湿度的检测

1. 测定前净化空调系统应连续运行至少24小时。

2. 对恒温恒湿要求，根据温湿度波动范围的要求，测定宜连续进行8~48小时，每次测定间隔时间不大于30分钟。

3. 测试点距地面1~1.5m ，交错布置，距外墙表面应大于0.5米。

4. 测点数，根据有关规范，面积≤50㎡，测点数为5个，每增加20~50㎡，增加3~5个点。本次验收设计采样点为130个。

5. 测试仪器为温湿度仪或棒状酒精温度计。

6. 90%以上的测点达到的偏差值在设计参数内，则检验为合格。

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