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利用电阻加热器加热蒸发的优点:镀膜机构造简单,造价便宜、使用可靠,可用于熔点不太高的材料的蒸发镀膜,尤其适用于对膜层质量要求不太高的大批量的生产中。电阻加热方式的缺点是:加热所能达到的z高温度有限,加热器的寿命也较短。近年来,为了****加热器的寿命,国内外已采用寿命较长的氮化硼合成的导电陶瓷材料作为加热器。
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镀膜原理
阴****真空磁控溅射的特点:膜层厚度均匀、镀膜速度快、基板温度低。溅射镀膜利用2个原理:辉光放电、连续撞击。溅射过程是建立在气体放电基础上的,放电从低压下开始的,气体离子与靶材相互作用,离子不断的撞击靶表面,靶材从靶表面被轰击下来然后在靶附近的基片(玻璃)上沉积下来,凝结成一层薄膜。