高纯铜靶材的应用领域及发展趋势
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
高纯铜靶材的应用领域及发展趋势
高纯铜靶材主要应用领域
高纯铜靶材主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于*材料、高温耐蚀、*装饰用品等行业。
信息存储产业:随着信息及计算机技术的不断发展,世界市场对记录介质的需求量越来越大,与之相应的记录介质用靶材市场也不断扩大,钴靶公司,其相关产品有硬盘、磁头、光盘(CD-ROM,CD-R,DVD-R等)、磁光相变光盘(MO,钴靶厂家哪家好,CD-RW,DVD-RAM)。
集成电路产业:在半导体应用领域,钴靶,靶材是世界靶材市场的主要组成之一,主要用于电****互连线膜、阻挡层薄膜、接触薄膜、光盘掩膜、电容器电****膜、电阻薄膜等方面。
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溅射靶材
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
解决靶材的结晶取向
靶材溅射时, 靶材中的原子****容易沿着密排面方向择优溅射出来,材料的结晶方向对溅射速率和溅射膜层的厚度均匀性影响较大。因此, 获得一定结晶取向的靶材结构对解决上述问题至关重要。但要使靶材*获得一定取向的结晶结构, 存在较大难度,钴靶厂家, 只有根据靶材的*结构特点, 采用不同的成型方法, 热处理工艺进行控制。
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金属靶材
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
溅射靶材使用指南及注意事项
靶材预溅射
靶材预溅射建议采用纯*气进行溅射,可以起到清洁靶材表面的作用。靶材进行预溅射时建议慢慢加大溅射功率,陶瓷类靶材的功率加大速率建议为1.5W小时/平方厘米。金属类靶材的预溅射速度可以比陶瓷靶材块,一个合理的功率加大速率为1.5W小时/平方厘米。
在进行预溅射的同时需要检查靶材起弧状况,预溅射时间一般为10分钟左右。如没有起弧现象,继续提升溅射功率到设定功率。根据经验,金属靶材可承受的溅射功率为25watts/平方厘米,陶瓷靶材为10watts/平方厘米。请同时参考用户系统操作手册中关于溅射时真空腔体压力的设定根据经验,一般应确保冷却水出水口的水温应低于35摄氏度,但****重要的是确保冷却水的循环系统能有效工作,通过冷却水的快速循环带走热量,是确保能以较高功率连续溅射的一项重要保障。对于金属靶材一般建议冷却水流量为20LPM水压在5GMP左右;对于陶瓷靶材一般建议水流量在30LPM水压在9GMP左右。
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