溅射靶材
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
靶材的密度
为了减少陶瓷靶材中的气孔,****薄膜的性能,一般要求溅射陶瓷靶材具有高密度。通常,靶材的密度不仅影响溅射时的沉积速率、溅射膜粒子的密度和放电现象等,还影响着溅射薄膜的电学和光学性能。靶材越密实,溅射膜粒子的空间分布浓度越低,放电现象越弱,而薄膜的性能也会越好。此外,****陶瓷靶材的致密度和强度能使靶材更好地承受溅射过程中的热应力。因此,****靶材的密度是制备陶瓷靶材的关键技术之一。在成型加工方法中预成型压力也是重要因素,靶材的预成形压力小,相应靶坯料的密度也小,这对靶材的烧结自然十分有利,靶材氧扩散好,相转变完全,靶材内部不易产生“夹芯”,但另一方面使靶材的机械强度降低,氧化铬价格,易发生*裂,不利于薄膜工艺使用.结合薄膜工艺、靶材应用活性和靶材加工实践考虑,一般情况下,靶材表观密度达理论密度控制在gt;55%~80%即可。粉末冶金法制造的靶材,氧化铬出售, 则****有可能含有一定数量的气孔。气孔的存在会导致溅射时产生不正常放电而产生杂质粒子,另外含有气孔的靶材在搬动、运输 、安装、操作时因其密度较低,内蒙古氧化铬,也****易发生碎裂 。由采用真空熔炼方法制造的靶材可确保块材内部无气孔存在
石久高研专注15年提供高纯金属靶材 *、高纯靶材欢迎来电咨询~~~
高纯金属靶材
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
业内人士指出,高纯金属及其合金溅射靶材是半导体集成电路及分立器材制造主要的PVD镀膜原资料,应用于金属化技术中互连线、阻挡层、触摸、通孔、背面金属化层等薄膜的制备。跟着国内电子信息产业商场规模的敏捷扩大,靶材消耗量逐年添加,中国逐渐变成世界上溅射靶材的很大需要区域之一。经过本次项目的建造,有研亿金高纯金属靶材研制出产的才能和技能水平将得到大幅度****,一起具有自主知识产权的高纯金属靶材将得到进一步的开展和推广。与此一起,完成高质量靶材的产业化,将会给有研新材带来非常显着的商场效益。
石久高研专注15年提供高纯金属靶材 *、高纯靶材欢迎来电咨询~~~
溅射靶材
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
背靶材料无氧铜(OFC)– 目前****常使用的作背靶的材料是无氧铜,因为无氧铜具有良好的导电性和导热性,而且比较容易机械加工。 如果*适当,氧化铬公司,无氧铜背靶可以重复使用10次甚至更多。
钼(Mo)– 在某些使用条件比较特殊的情况下,如需要进行高温帖合的条件下,无氧化铜容易被氧化和发生翘曲, 所以会使用金属钼为背靶材料或某些靶材如陶瓷甚至某些金属靶材的热膨胀系数无法与无氧铜匹配,同样也需要使用金属钼作为背靶材料。
不锈钢管(SST)– 目前****常使用不锈钢管作为旋转靶材的背管,因为不锈钢管具有良好的强度和导热性而且非常经济
石久高研专注15年提供高纯金属靶材 *、高纯靶材欢迎来电咨询~~~