溅射靶材
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
靶*的解决办法
1、采用中频电源或射频电源。
2、采用闭环控制反应气体的通入量。
3、采用孪生靶
4、控制镀膜模式的变换:在镀膜前,采集靶*的迟滞效应曲线,使进气流量控制在产生靶*的前沿,确保工艺过程始终处于沉积速率陡降前的模式。
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溅射靶材清洁
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金属靶材可以通过四步清洁,*步用无绒软布清洁;第二步与*步类似用酒精清洁;第三步用去离子水清洗。 氧化物及陶瓷靶材的清洗建洁用“无绒布”进行清洁。第四步在清除完有污垢的区域后,氧化镍多少钱,再用高压低水气的*气冲洗靶材。
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溅射靶材
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靶材的成分与结构均匀性
为了保证溅射薄膜均匀,尤其在复杂的大面积镀膜应用方面,必须做到靶材成分与结构均匀性好,这也是考察陶瓷靶材质量的重要指标之一。例如,为了保证质量,要求ITO靶中In2O3, SnO2组成均匀,都为93:7或91:9(分子比)。特别是溅射靶材的微观结构均匀性对溅射时的成膜速率、沉积薄膜的质量及厚度分布等均有很大的影响。根据有关研究表明,细晶粒(lt;100μm)结构溅射靶材的成膜速率大于粗晶粒靶。因此,当陶瓷靶材在靶面尺寸上的晶粒分布不均匀时,将造成沉积薄膜厚度分布的不均匀现象。
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