国内外都采用超精密磨削、精密修整、微细磨料磨具进行亚微米级以下切深磨削的研究,以获得亚微米级的尺寸精度。微细磨料磨削,用于超精密镜面磨削的树脂结合剂砂轮的金刚石磨粒平均直径可小至4μm。日本用激光在研磨过的人造单晶金刚石上切出大量等高性一致的微小切刃,对硬脆材料进行精密磨削加工,全顺数控外圆磨床,效果很好。超硬材料微粉砂轮超精密磨削主要用于磨削难加工材料,精度可达0.025μm。日本开发了电解在线修整(elid)超精密镜面磨削技术,使得用超细微(或超微粉)超硬磨料制造砂轮成为可能,可实现硬脆材料的*、高l效率的超精密磨削。作平面研磨运动的双端面精密磨削技术,其加工精度、切除率都比研磨高得多,磨床,且可获得很高的平面度。电泳磨削技术也是一种新的超精密及纳米磨削技术。
通常将获得表面光洁度▽10以上的磨削,称为高光洁度磨削。高光洁度磨削对无心磨床性能的要求主要包括以下方面。
1)主轴系统(主要是砂轮主轴系统,在卡盘上磨削时也包括下什主轴系统)要有良好的回转精度,全顺外圆磨床,轴心*移小,并有足够的刚度。
2)工作台在低速下平稳而无爬行的运动。规定低速运行的要求,主要是为修整符合高光洁度磨削的砂轮。工作台能在这样低的速度下平稳运行,就要求机床工作台导轨具有良好的摩擦特性,以及较高的几何精度。