溅射靶材
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
解决靶材的结晶取向
靶材溅射时, 靶材中的原子****容易沿着密排面方向择优溅射出来,材料的结晶方向对溅射速率和溅射膜层的厚度均匀性影响较大。因此, 获得一定结晶取向的靶材结构对解决上述问题至关重要。但要使靶材*获得一定取向的结晶结构, 存在较大难度, 只有根据靶材的*结构特点, 采用不同的成型方法, 热处理工艺进行控制。
石久高研专注15年提供高纯金属靶材 *、高纯靶材欢迎来电咨询~~~
靶材这个行业有前途吗
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
靶材这个行业发展还是很好的,薄膜行业虽然已经发展很多年了。目前国内做做靶材的公司很多了;但是*能做到国际前言的还比较少,二氧化硅,比如ITO靶材,与国外一直有差距!需要从****靶材质量上下功夫,高质量的靶材还是很有前景的!新材料不断发展,必然带动靶材行业发展,突出在靶材种类上!北京汇方圆靶材一直关注国际新材料动向;靶材品种一时俱进,目前自身开发的靶材种类已经有500多种!比如:CIGS靶材,CZSS靶材,GeSbTe靶材,LaxBa(1-x)CoO3靶材,YbMnO靶材......当然大部分属于实验阶段,都是一些实验室再用,但不排除将来某一类,二氧化硅批发价格,或几种产业化!
石久高研专注15年提供高纯金属靶材 *、高纯靶材欢迎来电咨询~~~
溅射靶材磁控溅射的原理
北京石久高研金属材料有限公司成立于2005年, 石久高研致力于镀膜靶材和蒸发料的研发和生产工作,为电子行业、玻璃工业、数据存储、装饰镀膜、工具镀膜等行业的镀膜企业提供*的靶材和蒸发料。公司主营金属靶材、金属材料、光学镀膜材料等。
溅射靶材磁控溅射的原理
磁控溅射原理:电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与*原子发生碰撞,电离出大量的*离子和电子,电子飞向基片。*离子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜。二次电子在加速飞向基片的过程中受到磁场洛仑磁力的影响,被束缚在靠近靶面的等离子体区域内,该区域内等离子体密度很高,二次电子在磁场的作用下围绕靶面作圆周运动,该电子的运动路径很长, 在运动过程中不断的与*原子发生碰撞电离出大量的*离子轰击靶材,经过多次碰撞后电子的能量逐渐降低,摆脱磁力线的束缚,二氧化硅价格,远离靶材,二氧化硅厂,****终沉积在基片上。
在电场的作用下,Ar气电离成正离子和电*上加有一定的负高压,从靶****发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率*,在阴****附近形成高密度的等离子体,Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面,以很高的速度轰击靶面,使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜。 磁控溅射一般分为二种:直流溅射和射频溅射,其中直流溅射设备原理简单,在溅射金属时,其速率也快。
而射频溅射的使用范围更为广泛,除可溅射导电材料外,也可溅射非导电的材料,同时还司进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。溅射靶材射频的频率****后就成为微波等离子体溅射,目前常用的有电子回旋共振(ECR)型微波等离子体溅射。
石久高研专注15年提供高纯金属靶材 *、高纯靶材欢迎来电咨询~~~