国产光学轮廓仪
由中图仪器研发生产的国产光学轮廓仪SuperView W1是一kuan用于对精密器件表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌的3D测量的光学检测仪器。
国产光学轮廓仪典型应用：
1.行业应用及范例
对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
2．软件功能
(1) 提供多种数据处理方式。
提供校平等操作调整图像位置，降低对工件摆放位置的要求 ；
提供空间滤波、标准滤波、去除形状等操作对数据进行修正，去除杂点噪声对图像分析的影响；
提供提取区域、提取剖面、抽取轮廓等操作获取检测区域，对感兴趣区域进行专门分析。
(2) 提供多种分析工具。
提供距离、台阶高度等要素测量 ；
提供点、线、圆弧、角度等特征测量；
提供频谱分析功能以获取幅度和相位信息；
提供线条和表面的粗糙度参数分析功能，可方便地进行用户偏好设置；
提供依据三大国内外标准(ISO/ASME/GBT)计算粗糙度的2D，3D参数，参见参数表:
表 1：2D参数表
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标准名 |
参数 |
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ISO 4287 |
振幅参数 |
Rp, Rv ,Rz, Rc, Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku |
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间距参数 |
RSm,Rdq |
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物料比参数 |
Rmr,Rdc,Rmr(Rz/4) |
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峰值参数 |
RPc |
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ISO 13565 |
核心参数 |
Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,Rpk,Rvk |
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AMSE B46.1 |
2D参数 |
Rt,Rp,Rv,Rz,Rpm,Rma×,Ra,Rq,Rsk,Rku,tp,Htp,Pc,Rda,Rdq,RSm |
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GBT 3505-2009 |
粗糙度参数 |
Ra,Rq,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,RSk,RKu,RSm,Rdq,Rdc,Rmr |
表 2：3D参数表
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标准名 |
参数 |
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ISO 25178 |
高度参数 |
Sq,Ssk,Sku,Sp,Sv,Sz,Sa |
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函数参数 |
Smr,Smc,S×p |
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空间参数 |
Sal,Str,Std |
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复合参数 |
Sdq,Sdr |
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体积参数 |
Vm,Vv,Vmp,Vmc,Vvc,Vvv |
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功能参数 |
Sk,Spk,Svk,Smr1,Smr2,Spq,Svq,Smq |
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ASME B46.1 |
3D参数 |
St,Sp,Sv,Sq,Sa,Ssk,Sku,SWt |
(3) 可视化的工作流模式，数据处理器和结果管理器具有可视工作流程树图，在每个节点既可以是数据处理选项也可以是分析结果。
(4) 数据图库，从图库中选择一个数据就*uo了它的数据可视化窗口和相应的数据分析流程。标签化的测量管理结构减少操作的时间。
(5) 多样化的视图观察角度，3D视图可以清晰地查看被测物的每一个特征，并可以在3D视图、2D投影图、等高线图之间任意转换。
(6) 内置多种分析方案，可对特定表面进行一键分析，自动生成一组分析结果，节约操作时间；并可自定义方案，将用户指ding的分析项目组合起来，避免重复操作。
(7) 便捷的同步分析功能，可对表面进行实时提取二维剖面，同步计算更新参数指标，实现对样品的操作所见即所得。
(8) 拥有多种报表形式，用户可根据需要导出分析结果到Word等常用办公软件中。
国产光学轮廓仪性能特点：
1、 *、高重复性、高稳定性
1） 采用光学干涉技术、精密Z向扫描模块组成测量系统，保证测量精度高；
2） 精密的Z向扫描模块和*的测量模式，保证测量重复性高；
3） *的内部*震设计，为测量高稳定性保驾护航。
2、 便捷的操作流程与强大的测量分析软件
1） 手动调节Z向聚焦，可有效****测头撞击到样品，对器件起到良好保护作用；
2） *的测量模式，帮助操作者快速测量不同形貌的待检样品；
3） 可视化窗口，便于操作者实时观察扫描过程；
4） 直观的软件分析界面，便于操作者****时间获悉样品参数信息；
5） 强大的数据处理与分析功能，帮助操作者深入了解被测样品情况；
6） 一键分析，便于操作者快速实现大批量测量；
7） 同步分析，实现对样品分析操作的所见即所得；
8） 可视化的报表导出（可选择导出的图像与数据结果到word文档）。
3、 测量参数齐全
涵盖ISO/ASME/GBT等国内外标准的百余种2D、3D参数分析，让操作者对被测样品的认识更加全mian具体。
国产光学轮廓仪技术指标：
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光源 |
绿光LED |
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影像系统 |
1024×1024，（2048×2048可选） |
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干涉物镜 |
10×，（5×，20×，50×可选） |
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光学ZOOM |
1×，（0.5×、0.75×可选） |
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物镜塔台 |
单孔 |
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XY位移平台 |
尺寸 |
200×200mm（可定制） |
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移动范围 |
25×25mm |
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负载 |
10kg |
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调节方式 |
手动 |
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水平调整 |
±4°，手动 |
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Z轴 聚焦 |
行程 |
100mm |
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调节方式 |
电动 |
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Z向扫描范围 |
100µm |
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Z向分辨率 |
0.1nm |
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****da扫描速度 |
30µm/s |
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台阶测量 |
不确定度 |
重复性 |
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1% |
0.2% 1σ |
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注：性能参数依据ISO 4287和ISO 25178在实验室环境下采用4.7µm台阶高标准块测shi。
光学规格表
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物镜倍率 |
5× |
10× |
20× |
50× |
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数值孔径 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
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光学分辨率@550nm（µm） |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
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焦深（µm） |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
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工作距离（mm） |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
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视场 H×V (mm) |
影像系统 1024×1024 |
0.5× |
1.92×1.92 |
0.96×0.96 |
0.48×0.48 |
0.192×0.192 |
|
0.75× |
1.28×1.28 |
0.64×0.64 |
0.32×0.32 |
0.128×0.128 |
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|
1× |
0.96×0.96 |
0.48×0.48 |
0.24×0.24 |
0.096×0.096 |
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|
影像系统 2048×2048 |
0.5× |
4.48×4.48 |
2.24×2.24 |
1.12×1.12 |
0.448×0.448 |
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|
0.75× |
3.22×3.22 |
1.61×1.61 |
0.805×0.805 |
0.322×0.322 |
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|
1× |
2.24×2.24 |
1.12×1.12 |
0.56×0.56 |
0.224×0.224 |
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2．仪器尺寸（长×宽×高）： 主机：590×600×790mm；
3．仪器主机重量：小于120Kg；
4．使用环境：无强磁场，无振动，无腐蚀气体
工作温度：15℃ ~ 30℃,温度梯度<1℃/15分钟
相对湿度：40-60%，无凝结
