1正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,维修水环真空泵,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,聊城水环真空泵,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
、2真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
3、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三****型溅射离子泵,纳士水环真空泵,(或二****型非对称阴****溅射离子泵)对*有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,水环真空泵抽气量,故都需要把泵组合起来使用。
4真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
理论真空与****限真空的区别理论真空与****限真空这两个概念是差不多的意思,常常用在工业上真空设备领域,如微型真空泵、微型气泵、微型气体采样泵、微型抽气泵、微型气体循环泵等。