晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。由于我们的客户遍布全国各地,我们有****的设备存储,运输及调试的一条龙服务团队。
****光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造。国外品牌主要以荷兰ASML(镜头来自德国),日本Nikon(intel曾经购买过Nikon的****光刻机)和日本Canon三大品牌为主。
光刻机的匹配调整是-项非常复杂的工作,在进行调整时,以下几点准则应当遵循:
●匹配使用的光刻机,首先应该是各单台光刻机调整到设备本身的****.佳状态,各项技术指标必须在设备规定的范围之内。
●设备进行匹配调整时,凡是能通过软件修正量的改变能实现的尽量使用软件方式来调整,因为软件调整是可改变的,可恢复的。而机器硬件调整的可恢复性比较差,特别是有严格精度要求的,基本上没有硬件调整的余地。
晋宇达电子是一家专门从事提供集成电路生产线关键设备 光刻机的销售、安装、翻新、改造、再制造、备件耗材及技术咨询成套解决方案的高新技术企业。
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准*、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“*”到硅片上的过程。