运动平台,直线电机,超精密运动平台

机械规格

型号ANT95-25-L-ZPLUS

ANT95-50-L-ZPLUS

ANT130-035-L-ZPLUS

ANT130-060-L-ZPLUS

行程25 mm 50 mm 35 mm 60 mm

精度±300 nm ±300 nm ±300 nm ±300 nm

机械规格

型号ANT95-3-V ANT95-3-V-PLUS ANT130-5-V ANT130-5-V-PLUS

行程 3 mm 3 mm 5 mm 5 mm

精度±2 μm ±200 nm ±2 μm ±200 nm

Aerotech 的 ANT 系列平台是全球****具有多种行程的纳米级*系统。ANT95-3-V 和 ANT130-5-V 是由线性电机驱动的楔型垂直举

升平台。这些平台可与 ANT 系列中的其它平台无缝集成，能够实现****的多轴性能。这些平台可提供两种精度等级。

ANT130-L-Z系列纳米垂直平移台1.大行程实现纳米*

2.高分辨率（2纳米），重复*精度（75纳米），*精度（300纳米）

3.2纳米的位置稳定性

4.*爬行十字交叉滚珠轴承

5.高动态特性

ANT130-2404-A

ANT130-1406-B

ANT130-3103-B

ANT130-6202-C

ANT130-6301-A

ANT130-3831-C

ANT130-7809-C

ANT130-3831-B

ANT130-3832-B

ANT130-1406-C

ANT130-1217-C

ANT130-1406-A

ALS5000 直线电机平台

1.适合恶劣环境

2.坚.台面和导轨罩

3.完全整合电缆管理系统

4.*，非接触式直线编码器（光栅尺）

5.可选气体净化的密封设计

行程1000mm

精度±1.0um

负载135.0kg

精密校准

ANT130-L系列平台可简易组装成XY轴装配体。选项包括达5角秒的精密正交校准和垂直轴解决方案

精密校准

ANT130-L系列平台可简易组装成XY轴装配体。选项包括达5角秒的精密正交校准和垂直轴解决方案