运动平台、压电运动平台(在线咨询)、2轴运动平台

精密校准

ANT130-L系列平台可简易组装成XY轴装配体。选项包括达5角秒的精密正交校准和垂直轴解决方案

精密校准

ANT130-L系列平台可简易组装成XY轴装配体。选项包括达5角秒的精密正交校准和垂直轴解决方案

动态特性

除了获得*水平外，这些系统可提供高动态性能和磁盘驱动制造及测试的理想生产能力。

*性

ANT130-R系列平台的设计能在24/7的生产环境中运行。不同于其他旋转设备，ANT130-R无需定期维护，并能确保数年无故障运行。

ANT95-L系列纳米级精密*平台

优点：

非接触式，无顿转，无摩擦，直接驱动，无背隙与磁滞，大行程

1：高分辨率1nm

2：重复*精度±25nm

3：*精度 ±250nm

4：行程25-50mm

交叉滚柱轴承专利设计

可以提供X,XY,XYZ等多种组合。可以实现1nm的小步进。