运动平台,直线电机驱动运动平台技术,直线电机平台
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中国
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机械规格
型号ANT130-060-XY-ULTRA ANT130-110-XY-ULTRA ANT130-160-
行程60 mm 110 mm 160 mm
精度±250 nm ±300 nm ±300 nm
ANT95-L系列纳米平移台1.实现大行程纳米*
2.高分辨率（1纳米），重复*精度（75纳米），*精度（250纳米）
3.1纳米的位置稳定性
4.*爬行十字交叉滚珠轴承
5.高动态特性
ANT95-20A5-04D, ANT95-10A5-04D,
ANT95-20A5-08D, ANT95-10A5-08D,
ANT95-20A5-12D, ANT95-10A5-12D,
ANT95－20A5－04D
小步进。ANT95-R 和
ANT130-R
? 0.01 弧秒的分辨率
? 0.005 弧秒的静态*稳定性
? 很小的运动误差
? 多轴配置
? 高动态性能
? 有限或无限旋转
? 95 mm 和 130 mm 的直径
以上内容为运动平台,直线电机驱动运动平台技术,直线电机平台，本产品由北京微纳通科技有限公司直销供应。
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