供应薄膜测量 长春海洋光电

薄膜测量

产品编号： 4716154916 产品名称： 薄膜测量 规　　格： 薄膜测量 产品备注： 产品类别： 光谱测试仪器

产 品 说 明

薄膜测量 薄膜厚度 新泽西Salt Point公司开发的薄膜监测系统(TDS)，在宽带溶解率监测仪(DRM)中集成了一套海洋光学多通道光谱仪，用来分析半导体和光学工业中使用的超薄的*蚀膜。 DRM帮助客户确定膜层的厚度以及应用*蚀膜后的材料溶解速率这都是控制薄膜生产工艺的重要参数。在初始化测试中，薄膜监测解决方案主要针对膜厚<300nm的应用，相对而言，传统的单色和多色干涉测量方法在该测量应用中的效果较差。在测试中，TDS采用了一个SD2000双通道光谱仪，通过一个R系列反射探头来实现反射式测量。 TDS在其网站上的报告中的结果显示了多波长DRM系统能够在离散的时间间隔内测定薄膜厚度，传统的DRM系统要监测光阻材料比较困难，并且，通过免去了对离散的静态的光学厚度测量工具的需求，也给研究者提供了相应附加值。 目前，TDS提供了1-, 2-, 4- 和8-通道的配置。TDS****近正好发布了它的L系列DRM产品线，新产品可以用于光阻材料的研发，配方研究，光阻材料生产的质量控制，以及聚合树脂生产的质量控制。L系列产品线包括多波长和多层分析算法，实现对零度薄膜的离散厚度测量，并且提供非线性溶解速率现象的准确数据。更详细的信息请访问：www.thicknessdetection*. 概要 附着在基底上的薄膜就如同一个标准具，当观察其表面的反射率时会看到一幅干涉条纹图样。当组合不同折射率的材料时，条纹间隔的正弦曲线分布可以用来计算此薄膜的厚度。 光谱仪 USB4000-VIS-NIR (350-1000nm)适合用于薄膜的反射测量。光谱仪预先配置了#3光栅，它的闪耀波长在500nm；一个OFLV-350-1000滤光片可以屏蔽二级和三级衍射效应；以及一个25μm 狭缝，可以得到~1.5nm (FWHM)的光学分辨率。 取样光学元件 ****0-7-VIS/NIR反射式探头，90°测量薄膜表面的镜面反射。再加上一个LS-1卤钨灯光源和一个STANSSH高反射率镜面反射标准参考，组成一套取样配置。 测量 从海洋光学的操作软件中(见上图)可以观察到由薄膜基底的膜层产生的干涉光谱。分析****大值和****小值处的波长可以确定薄膜的厚度(已知薄膜的折射率)或者确定它的折射率(已知薄膜的厚度)。需要注意的是，样本的厚度可能不是均匀的；建议测量薄膜的多个位置点。 配置 1.USB4000-UV-VIS通用实验室光谱仪 #1光栅，波长范围200-850nm 25微米狭缝作为入射孔径 OFLV-200-850消除衍射滤光片 2.DH2000-BAL*-卤钨组合光源 3.****0-7-UV-VIS反射探头 4.RPH-1反射探头支架 5.SpectraSuite光谱仪控制软件 6.ASP一年服务包

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