隔振光学平台、红星杨科技、自平衡隔振光学平台

详细内容HGZQ 精密气浮式隔振光学平台：

  红星杨气浮光学平台整体高度800mm，分为台面和支撑两部分。台面采用三层夹心式结构，上台面为铁磁不锈钢，上台面厚度6 ～ 10mm，中间为井字形蜂窝支撑结构，底面为碳钢板，台面具有高刚性和非常****的隔振效果。上台面采用精密磨削工艺，

气浮式支撑采用进口*气囊（德国FESTO），气室为三层结构，隔振性能较好，3 个进口水平调节阀反应灵敏，响应时间短。此外支撑腿下方还有标准阻尼隔振垫，调整高度部分为红星杨特有机构，调整非常方便，适合于对隔振要求较高的领域使用。侧板：内层碳钢板，外层为黑色铝塑板，四角用不锈钢钢板包角

特点：

·采用原装德国FESTO气动元件、传感器、气囊，品质有保证

·自动充气，自动平衡，响应时间段，平衡速度快

·固有频率，<1.2-1.8Hz

·振幅：<1μm

·标配静音无油空气压缩机，低噪声（小于60分贝）

·气浮支撑：二层结构式气室，3个进口水平调节阀，4或6个气囊

·台面结构：三层夹心结构

·台面：6-10mm厚高导磁不锈钢

·台面内部支撑：钢制井字形蜂窝状支撑结构

·底面：4-6mm厚碳钢，表面喷黑塑处理

·侧板：内层碳钢板，外层为黑色铝塑板，四角用不锈钢钢板包角

·厚度：100/200/300mm，详见各型号

·平面度：0.05mm/m2

平台表面粗糙度0.5?0.6 um

平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2

·总高度：台面和支架总高为800mm，可调范围：-20mm/+30mm

·台面重量：100mm厚台面：120Kg/m2；200mm厚台面：140Kg/m2；300mm厚台面：167Kg/m2

重复*精度±0.05 mm

工作压力0.2~0.6(Mpa)

阻尼结构工作台板，可消除表面共振，台板可选（蜂窝系列/焊接系列），完全密封孔， 自动调平，可配套安装脚轮

蜂窝结构隔振平台台板或超导磁隔振平台台板，台板强度高，稳定可靠；隔振器采用超薄复合材料气囊、带附加扩散口的多小孔准层流阻尼技术，隔振性能良好,系统稳定。自动水平，自动充气，关键气动执行元件均采用德国FEST0产品，静音空气压缩机气源、噪声低。

蜂窝结构隔振平台台板或超导磁隔振平台台板，台板强度高，稳定可靠；隔振器采用摆杆的结构*设计，该结构的水平固有频率相对于常规气浮平台较低，该支撑在水平方向有很好的隔振效果和承载能力。该项结构*已申报了*专利。关键气动执行元件均采用德国FEST0产品，静音空气压缩机气源、噪声低。