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质量流量控制器（Mass Flow Co*oller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进 行精密测量和控制。质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON 、聚****等；适用于各种腐蚀性气体；气体流量不因温度、压力的变化而失准；*；重复性好；响应速度快、软启动、稳定可靠；低压降；工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）；操作使用方便，可任意位置安装；便于与计算机连接实现自动控制。 S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域；半导体制造行业的气体流量控制。
膜片式采用膜片式传感器和无泄漏活塞式的传感器二种型式，D500/18D膜片式传感器可用于空气等中性气体和润滑油，轻燃油等液体介质。控制器的设定值可调，调节范围—0.1……1.6MPa。
特点：
可用于真空本控制系统是超小型设计，允许开关动作频率较高100次/分且*振性特别好。工作粘度：<1×10-3m2/s开关元件：微动开关环温度：-25～55℃介质；温度：-25～80℃外壳防护等级：IP54（符合DIN40050，与GB4208中IP54相当）安装位置：压力接口垂直向下（允许倾斜150）*振性能：Max:100m/s2重复性误差：≤2.5%触点容量：AC 220V 6A（阻性）
一、容积式流量计，又称定排量流量计。它利用机械测量元件把流体连续不断的分割成单个已知的体积部分，根据测量室逐次重复的充满和排放该体积部分流体的次数来测量流体体积流量。
二、浮子式流量计，又称转子流量计，是变面积式流量计的一种，在一根由下向上扩大的垂直锥管中，圆形横截面的浮子的重力是由液体动力承受的，从而使浮子可以在锥管中自由的上升和下降。
三、差圧式流量计 ，是根据安装于管道中流量检测件产生的差压，已知的流体的条件和检测间与管道的尺寸来计算流量的仪表。
四、涡街流量计，在流体中安放一根非流线型游涡发生体，流体在发生体两侧交替的分离释放出两串规则地交错排列的游涡的仪表。
五、涡轮流量计，是速度式流量计中的主要种类，它采用多叶片的转子（涡轮）感受流体平均流速，从而推导出流量或总量的仪表。
六、超声流量计，通过检测流体流动对超声束（或超声脉冲）的作用以测量流量的仪表。
七、电磁流量计，电磁流量计是根据法拉弟电磁感应定律制成的一种测量导电性液体的仪表。电磁流量计有一系列优良特性,可以解决其它流量计不易应用的问题,如脏污流、腐蚀流的测量。
八、热式流量计，热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。
