磁控溅射靶材种类:金属溅射镀膜靶材,合金溅射镀膜靶材,陶瓷溅射镀膜靶材,硼化物陶瓷溅射靶材,碳化物陶瓷溅射靶材,氟化物陶瓷溅射靶材 ,氮化物陶瓷溅射靶材 ,*回收靶粉,氧化物陶瓷靶材,硒化物陶瓷溅射靶材 ,硅化物陶瓷溅射靶材 ,硫化物陶瓷溅射靶材 ,碲化物陶瓷溅射靶材 ,其他陶瓷靶材,焦作*回收,掺铬一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO)。苏州ITO靶材回收,昆山ITO靶材回收,江苏ITO靶材回收。
BCC的报告显示:全球的上述产业在1999年使用了2.88百万公斤靶材。换算为面积,则溅射了363百万平方米的薄膜。而若以单位靶材来计算,全 球在1999年则大约使用了37400单位的靶材。这里所要指出的是,*回收铟锭,随着应用产业的不同,靶材的形状与 大小也有所差异,其直径从15G m到 3m都有,而上述的统计资料,则是平均化后的结果。苏州ITO靶材回收,昆山ITO靶材回收,江苏ITO靶材回收。
靶材的结晶粒子直径和均匀性 已被认为是影响薄膜沉 积率的关键因素。另外,薄膜的纯度与靶材的纯度关 系****大,过去99.995 %(4 N5) 纯度的铜靶,*回收ito靶材,或许能够满 足半导体厂商0.3 5pm 工艺的需求,但是却无法满足如今0.2 5um的工艺要求, 而未米的 0.18um }艺甚至0.13m工艺,所需要的靶材纯度将要求达 到5甚至 6N以上。苏州ITO靶材回收,昆山ITO靶材回收,江苏ITO靶材回收。