ANT95-R 和

ANT130-R

? 0.01 弧秒的分辨率

? 0.005 弧秒的静态*稳定性

? 很小的运动误差

? 多轴配置

? 高动态性能

? 有限或无限旋转

? 95 mm 和 130 mm 的直径

ANT95-L系列纳米平移台1.实现大行程纳米*

2.高分辨率（1纳米），重复*精度（75纳米），*精度（250纳米）

3.1纳米的位置稳定性

4.*爬行十字交叉滚珠轴承

5.高动态特性

ANT95-20A5-04D, ANT95-10A5-04D,

ANT95-20A5-08D, ANT95-10A5-08D,

ANT95-20A5-12D, ANT95-10A5-12D,

ANT95－20A5－04D

Pelaxx 在-10°C to +80°C 温度环境下使用，全密封式设计使Pelaxx *振

动和冲击，达到IP68 的防护标准，可用于较恶劣环境条件下如自动化及装配系

统、金属切削、石材切割、锯切、纺织、塑料加工、木工、包装和电子芯片/电路板

生产等运动系统的位置测量。

Pelaxx 在-10°C to +80°C 温度环境下使用，全密封式设计使Pelaxx *振

动和冲击，达到IP68 的防护标准，可用于较恶劣环境条件下如自动化及装配系

统、金属切削、石材切割、锯切、纺织、塑料加工、木工、包装和电子芯片/电路板

生产等运动系统的位置测量。