宁波防刮膜玻璃保护膜PE蓝膜定制金属保护膜的发展
¥1元/米
中国 浙江 宁波 镇海区
产品属性
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- 品牌/厂家:
- 其他
- 材质:
- PE
- 加工定制:
- 是
- 型号:
- 玻璃保护膜
- 厚度:
- 0.0015-0.15MM
- 用途:
- 玻璃保护膜
- 产地:
- 宁波
- 外观:
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- 雾度:
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- 拉伸强度:
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- 断裂伸长率:
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- 直角撕裂负荷:
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- 摩擦系数:
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- 规格尺寸:
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宁波防刮膜、玻璃保护膜、PE蓝膜定制金属保护膜的发展
金属保护膜的发展
随着IC工业进人超大规模集成电路(ULSI)阶段,金属保护膜发展成为微电子工业的重要材料。
金属保护膜发展其在集成电路中主要用于低阻姗电****(gate electrode)扩肖特基接触(Schottky barrier contact)、欧姆接触(Ohmic contact)以及器件间互连(inter-connect)例如,把或铂的薄膜材料常被用于化学传感器的催化剂,铁或铬薄膜材料可作为黏附层,使金等*很好地与基底粘附;镍和铬薄膜常用作刻蚀掩模;铜膜则经常被用于金和镍下的牺牲层材料等。
金属保护膜发展其性能(如电阻率、应力、相、附着力及表面形态等)受薄膜沉积工艺和工艺设备的影响非常大,不是任何一种金属保护膜材料都可以用任何一种沉积方法来制备的。
保护膜材料的电阻率往往高于同种材质的块状材料。一般而言,薄膜材料的电阻率是相应块状材料的1.5~2倍,而保护膜中常常要求较低的电阻率。合金和金属化合物的电阻率通常比金属保护膜高得多,并且沉积工艺对其电阻率的影响更大。
大多数金属与空气中的氧成其它氧化剂相互作用时,在金属表面上会生成一层金属氧化物保护膜。金属表面膜也可能由于与其它气体、蒸气或液体介质作用的结果而产生的。然而在实际的情况下,金属氧化物膜更具有普温的意。如表4—1所示,在某些情况下,保护膜可成长到显著的厚度,而在另一种情况下,生成的膜非常薄,薄到只有几个分子层那样薄。
金属表面上的保护膜
保护膜的生成过程是:在介质作用于金属时,开始由于两者的A接作用生成由一层分子粗成的膜,然后介质原子(或离子)和金属原子(更正确地魂应A是离子和电子)还将通过膜相向地扩散.,在膜中相遇处进行化合,生成新的腐触产物而加厚了膜。图4-1所示为叙和碘通过AgI膜进行相向扩散的过程‘当温度升高时,膜的生成速度盈常是污加的,但从另一方面来看,膜厚度的君长会拾扩散带来困难,所以腐触速度会因之减慢。这种作用是化学腐触过程的重要特点之一。
所产生的腐触产物是否具有保护作用,要看具体条件。膜起保护作用,应具备以下几个条件:
1)保护膜必须是完整无孔的,
2)保护膜在介质中是稳定的,
3)保护膜和主体金属桔合牢弃,
4)保护膜具有与主体金属相近的热膨胀系数。
例如:铝和铁在高温空气中,都能生成完整的氧化膜,招的氧化膜具备上笼条件有保护作用,但铁的氧化膜由于与金属桔合不牢靠,所以不起保护作用。又如碱金属和碱土金属,由于生成的氧化物保护膜不完整,所以对****气体腐触汉有保护作用。
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