YOKOGAWA横河电机OX400低浓度(ppm)氧化锆氧分析仪

OX400氧浓度分析仪是横河电机基于长期积累的经验和业绩研发而成的新机型。

氧化锆传感器采用了新型薄膜沉积专利技术，在氧化锆元素和铂层间建立了分子联接。这不仅剥离，还可以减小传感器尺寸，确保快速响应和长寿命。

OX400可用于各种半导体应用的控制和监测、环境控制、惰性气体泄漏检查及其他工艺。

• 用于半导体扩散炉和烘干炉，以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制。

• 用于锡焊炉气流和回流焊炉，以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中的氧气浓度控制。