ULVAC机工株式会社作为专门制造销售小型真空泵及小型真空仪器、装置的厂家，产品应用于各行业的高、中、低真空领域。特别是真空仪器、装置上配用的小型真空泵，产品品种、品质均处于世界*地位，满足了各小型真空泵的*使用厂家的需求。

爱发科真空泵

株式会社ULVAC作为追求真空*限（Ultimate in Vacuum)的真空技术先驱，以电子技术及信息通信技术为首，在能源、环保、运输、食品、化工、生物工程等广阔的领域，以生产设备为中心、提供*的真空技术产品。特别是在半导体制造设备及平面显示器等制造设备方面，以真空技术为基础，爱发科真空泵，进行了各种技术开发，已经和正在提供作为制造工艺重要部分的*设备。

可提供的选购件有：真空计、油雾过滤器、电磁阀、配管、真空管、流量计、各种接管

TM系列油雾过滤器

当油回转真空泵在大气压下启动或粗真空下运转时，真空泵油会与被抽进去的气体一起

排出。这种废气由许多微小的油滴组成，爱发科罗茨真空泵，以烟雾的形式从泵的排气口排出。TM系列油雾

过滤器可以确保一个清洁的环境，保护室内设备免受油雾污染。

特点

● 过滤油雾

● 减少噪音

● 内部滤芯更换方便

● 油回收方法可选（选购件），与泵连接方便。

真空设备制造商“株式会社ULVAC（爱发科）”在中国*兴建的全资公司，爱发科油旋片式真空泵，于2003年7月在工业园区设立，日本爱发科真空泵代理，总*10，350万美元，注册资本3450万美元，占地面积七万多平方米。主要为半导体功率器件、集成电路、电力电子、LED等行业提供芯片生产及研发的相关真空设备，同时提供设备及周边产品的售后服务。工厂于2011年再度扩建，从2012年年初开始，为平板显示器，太阳电池等制造行业提供*设备。

公司由日本总部提供雄厚的技术支持，既拥有与日本总部同等的技术资源，又拥有国内设备供应商在价格、交货期、售后服务等方面的综合优势，受到广大客户的一致好评和厚爱。