集成电路工业的废气有含氟化物和*雾的酸性废气、含氨的碱性废气、光刻胶的有机废气,含SiO2的含尘废气，以及含*、磷烷的工艺尾气等,这些工业废气中大部分成分是**的,必须进行有效的处理才能排入大气中。

深圳晶灿环保LCO-24-4B型废臭气体净化设备主要针对中小型加工企业一般风量的废气、臭气、异味净化治理。设备运行稳定，安全节能省心，维护简单经济。

一、技术原理：

1、光催化氧化是在外界可见光的作用下发生催化作用,光催化氧化反应是以半导体及空气为催化剂，以光为能量，将有机物降解为CO2和H2O。