3M氟化液FC-3283是无色透明全氟具有良好的化学惰性、电气绝缘性能、热传导性和的第表面张力应用于半导体制造厂作为热传导介质。其液体温度范围为-50°C 至128°C,主要应用于蚀刻设备、离子注入设备、测试设备及其他设备。因为FC-3283是单一组分,所以其成分不好出现降解或者过期。FC-3283沸点高,其随时间的挥发也比较少。氢氟醚随着科技发展,电子产品的集成度越来越高,要确保产品的功能正常,产品的清洗变得为重要。过去电子行业通常使用的CFC,因为会造成自氧层的及温室效应,将被禁用。其替代品HCFC因为仍然含氧,只能作为过渡性清洗溶剂。
3M公司针对此发展趋势,开发了NOVEC
HFC(Hydrofluo-roetber)氢氟醚溶剂系列,与HCFC等过渡性替代溶剂不同,3M NOVEC
HFE由于***的环保特性,成为长期的解决方案。为需要***清洗制程的产业提供了有效,安全,符合环哇保法规要求的解决方案。
3M NOVECHFE既有适度的溶解性,又有良好的材料相容性。而且,她以前被使用的氟化液相比臭氧层系数为0,***变暖潜在值(GWP值)大气寿命短等,满足环保法规的要求。3M NOVEC HFE是一种无色透明且粘度低,不安全性非常高的液体。和以前的氟化液用途一样。被用于:
1.半导体,液晶,硬盘制造
2.电子元器件
3.光学镜片
4.航穿,医学