公司负责人钱锋博士，1985年毕业于东南大学，1995年留学德国， 2000年获德国工学博士。从事真空行业二十多年，在天星达公司的管理和产品生产过程中，引进国外****的技术和管理方法及严格的品质理念，他和天星达团队的技术人员一起努力，使镀膜机的设计更趋合理，安装生产更趋精细，产品质量更趋完善。现在，天星达真空在设备安装调试过程中全程采用四****质谱残余气体分析仪（RGA），对设备安装进行质谱分析和氦质谱检漏，确保了真空设备的真空质量，缩短了安装周期。在电子枪结构设计上参考国外多款电子枪，天星达真空不断改进电子枪和电源设计，解决了多年*的的高压电源稳压稳流，束斑扫描和位置记忆等难题，很好地满足了客户蒸镀****膜的需求。

应用范围：

该设备采用e型电子枪蒸发源，可蒸发各种高熔点金属和氧化物，可在玻璃，塑料,陶瓷基体上镀制各种多层薄,如:红外膜、宽带增透膜、分光膜、冷光膜、IR-CUT膜、干截止滤光片、偏振膜、电学膜，适用于眼镜、光学镜头、精密光学元件、激光和电子行业的大规模工业生产.

主要特点：

l        电子枪输出功率稳定，特殊结构设计有效杜绝二次电子的产生和电子枪打火。

l        转动采用磁流体引入,长期运转密封可靠。

l        工件转动座多重水冷和重力导向设计，运转平稳可靠，径向和轴向跳动3-5mm。

l        采用PLC+触摸屏控制,多重泵阀水电互锁互保护，可全程自动控制,包括真空系统,烘烤系统,整个蒸发镀膜过程。

l        安装采用全程四****质谱监控和氦质谱检漏,真空密封性好,设备工艺稳定可靠。

l        所有零部件采用国内*厂家,电器元件采用进口或合资企业产品,设备24小时连续长期运行可靠稳定。

基本参数：

1.       立式前开门结构，不锈钢真空室Φ1300X1500mm
2.       ****限真空：1×10-4Pa（空载清洁真空系统，300°烘烤后）。
3.       恢复真空时间：大气至4×10-3Pa≤15min。
4.       大抽速主泵，KT-630型扩散泵（18000L/s）两台，配备防湍流装置。
5.       工件转动：采用磁流体密封转动装置，转动座多重水冷和重力导向设计，运转平稳可靠。
6.       工件烘烤：桶状上烘烤,三点控温,烘烤温度350°。
7.       永磁E型电子枪，枪功率10KW/支；可配置单枪或双枪，多穴坩埚和环形坩埚。
8.       配备美国Inficon公司生产的SQC310C或IC6型石英晶体膜厚控制仪。
9.       10英寸触摸屏和欧姆龙（PLC）编程控制器，对设备真空系统、蒸发源系统、烘烤系统、工件转动系统、膜厚监控系统等进行监测和控制，可采用自动和手动两种模式。
10. 10.  可选配Φ16CM的离子源或深冷低温冷阱。