真空箱式氦检漏系统【机械系统部分】

机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。

1.2 充氦气回收单元

充氦气回收部分主的组成结构中，高、低压罐由具有****资质的压力容器生产商制造，并配备安全阀、压力传感器，适时检测高低压罐压力，安全可靠。系统具有氦气压力监测及氦气补充功能，当系统检测到高压氦气罐内的氦气浓度或压力低于设定值时，则自动打开阀门从低压罐补充高纯氦气。

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真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】

真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，其中电控系统包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。

2.2、控制机构

控制机构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统，分散与集中控制相结合，层次分明、成本低廉、维护方便。上位机采用工控机，用于向PID发布指令、系统运行状态集中管理。PID主要实现对整个系统现场及部件进行连锁控制。系统根据“操作机构”和“检测机构”的信号来控制设备的运行，完成检漏工作。

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