石英玻璃脱羟时间取决于石英玻璃的制备工艺及规格尺寸、所采用的脱羟气氛及温度。

在正常熔制情况即氧化或中性气氛下如以SiCl4为原料

氢氧焰为热源高温水解气相沉积合成的石英玻璃和以水晶为原料、氢氧焰为热源炼熔制的石英玻璃中大部分羟基呈稳定状态，制品的规格尺寸大的话，即使脱羟基时间再长也很难将其中的羟基全部脱出。通常0.5~1.0mm厚合成和气炼石英玻璃片在真空或干燥的N2、1050℃的脱羟条件下，经过140h以上方可脱出50%左右的羟基，时间再长几乎不再脱出。

石英玻璃性能

1、热学性能：5.4＊10-7,由于石英玻璃的热膨胀系数****小，相当于普通玻璃的1/12-1/20，在0-1000℃的平均膨胀数为的热膨胀系数****小，所以它承受冷热急变的耐受温差的能力相当强，一般可承受1200-15℃的急冷急热试验

2、石英玻璃是良好的耐酸材料;，除****和300度以上的热****外，在高温下，它能耐*，*酸，****，中性盐类，碳和硫等侵蚀，其化学稳定性相当于耐酸陶瓷的30倍，相当于镍铬合金和陶瓷.白锈钢的150倍，它耐高温，耐热震，热膨胀系数特别小 ,尤其在高温下的化学稳定性,.是其他任何材料都无法比拟的.,

石英玻璃属于典型的脆硬材料，光学冷加工难度大，加工效率低，其生产工艺较为复杂。建材报****近报道：中国建材总院项目组通过对精密加工技术的研发，引入或试制了多种精密加工设备，并开发、完善了集成开发掩膜版用*石英玻璃基片的精密加工技术与系统。