石英玻璃属于典型的脆硬材料，光学冷加工难度大，加工效率低，其生产工艺较为复杂。建材报****近报道：中国建材总院项目组通过对精密加工技术的研发，引入或试制了多种精密加工设备，并开发、完善了集成开发掩膜版用*石英玻璃基片的精密加工技术与系统。

由于半导体材料的纯度要求控制在ppb数量级以下，因此石英玻璃则应控制在PPm数量级以适应半导体工业的需要。B的分凝系数近于1,****难除掉，是*****的杂质之一，Cu、Fe、Ti等影响半导体的少子寿命，K、Na、Li是单晶材料产生微缺陷的*杂质。本公司为半导体工业服务已有40余年的历史，并始终致力于去除上述*杂质的研制工作。

石英玻璃线膨胀系数****小，故具有很高的耐急冷急热性，透明石英玻璃在电炉中于1100oC下灼热15分钟，然后投入冷水中，可以经受3-5次循环而不*裂；不透明石英玻璃在800oC下灼热5分钟，投入20oC水中，可以经受5次循环而不*裂。石英玻璃的软化点很高，透明石英玻璃为1730oC，所以石英仪器的连续使用温度为1100oC-1200oC，短时间可在1450oC 使用。