光范围(nm) 折射率(N)
550nm 蒸发温度(℃) 蒸发源 应用 杂气排放量
320-7000 2.05
⒉0AT2000 约2500 电子枪,
增透,加硬膜
眼镜膜保护膜 一般
制程特性:白色颗粒,柱状,或块状,粉状材料使用钨舟或钼舟.颗粒状,粉状材料排杂气量较多,柱状或块状较少.
真空度小于2*10-5Torr条件下蒸发可得到较稳定的折射率,真空度大于5*10-5Torr时蒸发,薄膜折射率逐渐变小。
蒸镀时加入一定压力的氧气可以****其材料之不均匀性。
不用时挖坑埋藏薄膜在收藏期间,要严*晒、烟熏、火烤,否则,其使用寿命会大大缩短。棚膜****的储存方法是挖坑埋藏,生产结束后,拆下的薄膜要先洗干净晾干,卷好后用旧薄膜包裹起来,选择土壤干湿度适中的地方挖一个坑,然后把包裹好的薄膜放进坑内埋藏。注意,薄膜上层离地面的距离在 30厘米以上。此法可避免农膜在空气中存放老化发脆,而缩短使用寿命。
名称:二氧化锆(ZrO2)
ZrO2具有坚硬,结实及不均匀之特性,该薄膜有是需要烘干以便除去它的吸收,其材料的纯度及为重要,纯度不够薄膜通常缺乏整体致密性,它得益于适当使用IAD来*它的折射率到疏松值以便克服它的不均匀性.纯度达到99.99%基本上解决了以上的问题.SAINTY等人成功地使用ZRO2作为铝膜和银膜的保护膜,该膜层(指ZRO2)是在室温基板上使用700EV*离子助镀而得到的.一般为白色柱状或块状,蒸发分子为ZRO,O2.
名称:铬(Cr)
铬有时用在分光镜上并且通常用作'胶质层'来增强附着力,胶质层可能在5-50NM的范围内,但在铝镜膜导下面,30NM是增强附着力的有效值.颗粒状可用钨舟蒸发而块状宜用电子枪来蒸发,该材料升华,但是表面氧化物可以****它蒸发/升华,可以全用铬电镀钨丝.可以用铬作为胶质层对金镜化合物进行韧性处理,也可在塑料上使用铬作为胶质层.也可使用一个螺旋状的钨丝蒸发.它应该是所有材料中具有****高拉应力的材料.