纳米加工与设备新技术研究

开展32-22纳米技术代新原理装备研究，为我国下一代微电子技术研发新原理设备，为产业提供自主知识产权，为我国IC产业升级换代提供技术积累。利用科研院所的研究优势，与企业联合开发主流IC设备，替代进口，打*国外垄断。实验室装备产业化，发展目标是研发各类实验室用微电子设备，小批量生产提供我国科研院所，****我国科研单位的*能力。

高压微射流纳米分散仪技术参数：  

1. 处理压力3,000- 23,000psi；

2. 流量为250-600 ml/min；

3. 进料温度为 –25℃--75℃；

4. 样品量为14ml；

5. 压缩空气要求：在120psi压力下压缩空气流量为57 scfm , 15 hp (11Kw)；

6. 机器尺寸: 28*41*76cm；

7. 重量：25 Kg。

纯金属、合金纳米粉。如：Fe、Co、Ni、Cr、Cu、Al、Mg、Au、Fe—Ni合金、Fe—Co合金等。平均粒度20—60nm，纯度>99.9 %。上述纳米粉产品达到国际水平，。

高纯度化合物纳米粉。如：Fe3O4、Fe2O3、CuO、TiO2、Al2O3、ZrO2 包覆等。平均粒度10—40nm，纯度>99.5 %。产品达到国际水平。

高纯度非金属纳米粉。如：S、P、Si、C、石墨等，平均粒度20—60nm，纯度>99.9 %；达到国际水平。  

植物超微粉或纳米粉。如：人参、*、珍珠、鹿茸、鹿托、牛角、灵芝等。粒度在10-100nm、100-1000nm、1-10μm范围内可以得到有效控制，达到国际水平。

附属产品：高压真空风机、*风机，各种非标准液压元件及高压蓄能器。本公司主要经营产品：高压真空风机、*风机、高压蓄能器。